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78K红外吸收法测定硅中氧含量
李月珍, 沈金媛, 任宁, 王其闵
78 K INFRARED ABSORPTION METHOD FOR MEASURING THE OXYGEN CONTENT IN SILICON
LI YUEZHEN, SHEN JINYUAN, REN NING, WANG QIMIN
应用科学学报 . 1985, (
2
): 184 -185 .