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激光CVD制备a-Si:H/a-SiC:H多层非晶薄膜的方法及其光学特性研究
吴鼎祥
A METHOD TO FORM a-Si:H/a-SiC:H MULTILAYER AMORPHOUS FILM WITH LASER CVD AND THE RESEARCH OF ITS OPTICAL CHAR ACTERISTICS
WU DINGXIANG
应用科学学报 . 1993, (
2
): 166 -170 .