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高频离子源中应用等离子体及非等离子体化学反应对于引出金属离子的区别
白桂彬
THE DIFFERENCE BETWEEN METAL IONS EXTRACTED FROM THE R. F. ION SOURCE BY APPLYING PLASMA CHEMISTRY REACTION AND NON-PLASMA CHEMISTRY REACTION
BAI GUIBIN
应用科学学报 . 1987, (
1
): 41 -48 .