应用科学学报 ›› 1984, Vol. 2 ›› Issue (2): 140-149.
俞鸣人, 庞嬿婉, 程士宁, 王迅
YU MINGREN, PANG YANWAN, CHENG SHINING, WANG XUN
摘要: 用镍3d-价带的XPS讯号对谱仪的结合能零点位置进行了定标,并用全和铜的XPS峰校正了从84~932eV间结合能的标度,从而准确地测定了几种金属的能级结合能的值,观察到样品表面自然沾污碳的ls峰可以因化学状态不同而有leV的结合能移动.由测量有限几种金属的XPS强度可以定出谱仪的表观传输特性,从而求得该仪器对各种元素的相对灵敏度因子.对几种化合物的测定结果表明其准确度在10%~20%的范围内,比用理论计算的灵敏度因子所得结果为准,上述结合能定标和原子灵敏度因子测定是对ESCALAB5型能谱仪做的,这一方法同样适用于其他型号的XPS谱仪.