聚酰亚胺(PI)薄膜电容型湿度传感器的研制

应用科学学报 ›› 1993, Vol. 11 ›› Issue (1): 86-90.

聚酰亚胺(PI)薄膜电容型湿度传感器的研制

骆如枋¹, 陆玉萍¹, 边伟勇¹, 朱庆杨², 陈羽男², 李晓红², 张建安²

1. 中国科学院上海治金研究所;
2. 上海手表五厂

收稿日期:1991-02-20 修回日期:1992-01-22 出版日期:1993-03-31 发布日期:1993-03-31

DEVELOPMENT OF POLYIMIDE FILM-BASED CAPACITIVE TYPE HUMIDITY SENSOR

LOU RUFANG¹, LU YUPING¹, BIAN WEIYONG¹, ZHU QINYANG², CHEN YUNAN², LI XIAOHONG², ZHANG JIANAN²

1. Shanghai Institute of Metallurgy, Academic Sinica;
2. Shanghai No.5 Watch Factory

Received:1991-02-20 Revised:1992-01-22 Online:1993-03-31 Published:1993-03-31

摘要/Abstract

摘要： 高分子薄膜湿度传感器^[1]是当今可实用的性能较优越的一类湿度传感器.一般所用的感湿材料,以醋酸纤维系为主(CA,CAB).

关键词: 湿度传感器, 薄膜, 聚合物

Abstract: This paper describes a capacitive type relative humidity sensor made of polyimide film. The device is fabricated with standard 10 processing techniques. We find the response curve is almost linear over the whole range of relative humidity; sensor hysteresis and inaccuracy are lower than ±3% RH; and the response time for 63.2% of a step change in humidity is less than 15s. The stability in high humidity, effect of temperature on the response character and principle of operation are discussed.

Key words: humidity sensor, polyimide, film

骆如枋, 陆玉萍, 边伟勇, 朱庆杨, 陈羽男, 李晓红, 张建安. 聚酰亚胺(PI)薄膜电容型湿度传感器的研制[J]. 应用科学学报, 1993, 11(1): 86-90.

LOU RUFANG, LU YUPING, BIAN WEIYONG, ZHU QINYANG, CHEN YUNAN, LI XIAOHONG, ZHANG JIANAN. DEVELOPMENT OF POLYIMIDE FILM-BASED CAPACITIVE TYPE HUMIDITY SENSOR[J]. Journal of Applied Sciences, 1993, 11(1): 86-90.

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