连续波激光诱导扩散区温度的不接触测量

应用科学学报 ›› 1997, Vol. 15 ›› Issue (4): 413-417.

连续波激光诱导扩散区温度的不接触测量

李忠东, 叶玉堂, 洪永和, 叶婧, 李家旭

电子科技大学

收稿日期:1996-03-22 修回日期:1996-06-21 出版日期:1997-12-31 发布日期:1997-12-31
作者简介:李忠东:博士,电子科技大学光电子技术系,成都 610054
基金资助:
国家自然科学基金;国防科工委资助

REMOTE SENSING OF THE TEMPERATURE OF THE EXPOSED REGION IN LASER ASSISTED DIFFUSION

LI ZHONGDONG, YE YUTANG, HONG YONGHE, YE JING, LI JIAXU

University of Electronic Science and Tech nology of China, Department of Opto-electronic Technology, Chengdu 610054

Received:1996-03-22 Revised:1996-06-21 Online:1997-12-31 Published:1997-12-31

摘要/Abstract

摘要： 激光诱导扩散中曝光区的大小在10μm数量级,其温度分布的测量是比较困难的.该文报道一种曝光区中极微小面元温度的不接触测量.文中介绍了测量原理、实验装置,给出了实验结果,并特地介绍了测量系统的定标.

关键词: 温度测量, 激光诱导扩散, 激光诱导处理, 半导体

Abstract: The determination of the temperature distribution in the exposed region is something difficult since the size of the exposed region in laser assisted diffusion is only of the order 10 microns. Remote sensing of the temperature of the extrasmall areas in that exposed region is reported. The theoretical principle, experimental set-up and the experimental results are presented, and especially, the callibration of the temperature sensing system is discussed in detail.

Key words: laser assisted diffusion, laser assisted processing, measurement of temperature, semiconductor

李忠东, 叶玉堂, 洪永和, 叶婧, 李家旭. 连续波激光诱导扩散区温度的不接触测量[J]. 应用科学学报, 1997, 15(4): 413-417.

LI ZHONGDONG, YE YUTANG, HONG YONGHE, YE JING, LI JIAXU. REMOTE SENSING OF THE TEMPERATURE OF THE EXPOSED REGION IN LASER ASSISTED DIFFUSION[J]. Journal of Applied Sciences, 1997, 15(4): 413-417.

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