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采用SF6+O2反应离子刻蚀聚酰亚胺膜
孙承龙, 杜根娣, 郭方敏, 陈思琴, 林绥娟, 胡素英
REACTIVE ION ETCHING OF POLYIMIDE FILM USING SF6 +O2
SUN CHENGLONG, DU GENDI, GUO FANGMIN, CHEN SIQIN, LIN SUIJUAN, HU SUYING
应用科学学报 . 1993, (1): 31 -36 .