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N/P硅外延片的少子扩散长度测量
杨恒青, 王志伟, 包宗明
THE MEASUREMENT OF MINORITY CARRIER DIFFUSION LENGTH IN N LAYER OF N/P EPITAXIAL SILICON WAFER
YANG HENQING, WANG ZHIWEI, BAO ZENGMING
应用科学学报 . 1987, (2): 164 -171 .