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硅/硅直接键合应力的Raman谱研究
黄庆安, 张会珍, 陈军宁, 童勤义
RAMAN SPECTRUM ANALYSIS OF STRESS DUE TO SILICON DIRECT BONDING
HUANG QINGAN, ZHANG HUIZHENG, CHEN JUNNING, TONG QINYI
应用科学学报 . 1994, (
3
): 223 -226 .