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微齿轮加工工艺研究
赵新安, 苏毅, 张熙, 谭淞生, 王渭源
INVESTIGATION ON PREPARATION OF SUB-MILLIMETER POLY-SILICON GEAR
ZHAO XINAN, SU YI, ZHANG XI, TAN SONGSHENG, WANG WEIYUAN
应用科学学报 . 1993, (4): 360 -365 .