应用于超大规模集成电路的新材料WSi<sub>2</sub>的快速热退火形成

应用于超大规模集成电路的新材料WSi₂的快速热退火形成

陈存礼, 曹明珠, 华文玉

NEW MATERIAL FOR VLSI-FORMATION OF WSi₂ BY RAPID THERMAL ANNEALING

CHEN cUNLI, cAO MINGSHU, HUA WENYU

应用科学学报 . 1991, (3): 258 -262 .