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轻掺杂漏LDD MOSFET的工艺及特性
郑庆平, 章倩苓, 阮刚, 陈晓
THE TECHNOLOGY AND CHARACTERISTICS OF LDD MOSFET
ZHENG QINGPING, ZHANG QIANLING, RUAN GANG, CHENG XIAO
应用科学学报 . 1991, (
4
): 309 -314 .