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半导体薄膜工艺与ESCA/AES研究
俞志中, 胡南山, 蔡炳初
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SEMICONDUCTING THIN FILM TECHNOLOGY AND ITS ESCA/AES STUDY
YU ZHIZHONG, HU NANSHAN, CAI BINGCHU
应用科学学报 . 1989, (
1
): 65 -70 .