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氧化钇稳定的氧化锆上外延硅生长的研究
陈庆贵, 史日华
STUDIES OF EPITAXIAL GROWTH OF SILICON ON YTTRIA-STABILIZED ZIRCONIA
CHEN QINGGUI, SHI RIHUA
应用科学学报 . 1990, (
3
): 268 -270 .