双层多晶硅FlotoxEEPROM单元的优化设计

应用科学学报 ›› 1997, Vol. 15 ›› Issue (1): 82-88.

双层多晶硅FlotoxEEPROM单元的优化设计

于宗光¹, 许居衍¹, 王鸿宾¹, 魏同立²

1. 华晶集团中央研究所;
2. 东南大学

收稿日期:1995-12-20 修回日期:1996-05-08 出版日期:1997-03-31 发布日期:1997-03-31
作者简介:于宗光:高工,中国华晶集团公司中央研究所,江苏无锡208信箱 214035
基金资助:
江苏省青年科技基金

OPTIMIZA TION DESIGN OF TWO-POLY SILICON FLOTOX EEPROM CELL

YU ZONGGUANG¹, Xu JUYAN¹, WANG HONGBIN¹, WEI TONGLI²

1. Central Research Institute, Hua Jing Group Co, Wuxi, 214035;
2. Microelectronic Research Centre, Sotheast University, Nanjing, 210096

Received:1995-12-20 Revised:1996-05-08 Online:1997-03-31 Published:1997-03-31

摘要/Abstract

摘要： 建立了双层多晶硅flotoxEEPEOM存储管的阈值电压模型,利用该模型研究了擦/写阈值与擦/写时间、编程电压、隧道孔面积、隧道氧化层厚度的关系,采用1.4μm CMOS工艺设计了双层多晶硅flotox单元。模拟结果和实验结果基本一致,该阈值电压模型为EEPEOM单元的优化设计提供了一种快速、简便、实用的准则。

关键词: EEPROM, 阈值电压, 浮栅隧道氧化物, 模型

Abstract: In this paper, the model of two-polysilicon folotox EEPROM threshold voltage model has been established. Then, the relatioa between erase/write tbredbold voltage and erase/write time, programing voltage, tunnel area, folox thickness have been studied based on this model. Tbe two-polysilicon fotox EEPROM cell has beea designed The experiment reaults are approximately-concordant with the sizaulation results. So, the thresbold model can be used as a fast, sim ple, actual ruler for EEPROM cell optimization deaign.

Key words: model, floating-gate tunnel oxide, EEPROM, threshold voltage

于宗光, 许居衍, 王鸿宾, 魏同立. 双层多晶硅FlotoxEEPROM单元的优化设计[J]. 应用科学学报, 1997, 15(1): 82-88.

YU ZONGGUANG, Xu JUYAN, WANG HONGBIN, WEI TONGLI. OPTIMIZA TION DESIGN OF TWO-POLY SILICON FLOTOX EEPROM CELL[J]. Journal of Applied Sciences, 1997, 15(1): 82-88.

[1]	陈俊, 李娅, 张芥. 基于虚拟机的数据中心能耗测量[J]. 应用科学学报, 2020, 38(3): 488-495.
[2]	王大千, 崔荣一, 金璟璇. 基于视觉关注模型与多尺度MSER的自然场景文本检测[J]. 应用科学学报, 2020, 38(3): 496-506.
[3]	包振山, 王凯旋, 张文博. 基于树形拓扑网络的实用拜占庭容错共识算法[J]. 应用科学学报, 2020, 38(1): 34-50.
[4]	毕奇, 童心, 张济勇, 许凯, 张涵, 秦昆. 基于PLSA和BoW的高分遥感影像小型港口检测[J]. 应用科学学报, 2019, 37(3): 301-312.
[5]	宾晟, 孙更新, 周双. 基于区块链技术的社交网络中舆情传播模型[J]. 应用科学学报, 2019, 37(2): 191-202.
[6]	陈昊, 许春蕾, 黎明, 张聪炫. 基于动态区域划分的多种群进化算法[J]. 应用科学学报, 2019, 37(1): 126-136.
[7]	余玥, 邓丽, 庞洪霖, 费敏锐. 基于分布式聚类的作物生长环境异常检测方法[J]. 应用科学学报, 2018, 36(6): 1010-1021.
[8]	侯东奥, 鲁宇明, 汪宇玲, 刘武. MRI的脑部肿瘤分割及其三维重建[J]. 应用科学学报, 2018, 36(5): 808-818.
[9]	王恒, 张丽, 毕森, 韩瑞丹. 海南城市发展进程遥感监测分析与模拟[J]. 应用科学学报, 2018, 36(5): 798-807.
[10]	韦秋含, 梁海华, 张新鹏. 基于动态BoW模型的密文JPEG图像检索[J]. 应用科学学报, 2018, 36(4): 628-634.
[11]	彭宝江, 钟若飞, 孙海丽, 耿雨馨. 面向DEM构建的点云四叉树和R树混合索引研究[J]. 应用科学学报, 2018, 36(4): 644-654.
[12]	赵平, 蒋沅. 输入饱和CE150直升机模型的复合非线性反馈控制[J]. 应用科学学报, 2018, 36(3): 553-566.
[13]	赵啸, 徐彦彦, 龚佳颖, 宋方振. 一种结合正交分解及BoVW的图像安全检索方法[J]. 应用科学学报, 2018, 36(2): 299-308.
[14]	肖同, 王卓, 王梦, 阎少宏. 基于物元模型的小区开放对道路通行的影响[J]. 应用科学学报, 2017, 35(5): 612-625.
[15]	郭晓利, 周自岚, 刘耀伟, 独健鸿, 黄岩. 基于DTS-ILDA模型和关联过滤的新闻话题演化分析[J]. 应用科学学报, 2017, 35(5): 634-646.